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地面式主動減振平臺
發布日期： 2025-04-08
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地面式主動減振平臺TOOL-Base是一種先進的主動壓電地面減振平臺，用于超精密儀器和機械設備。
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地面式主動減振平臺

TOOL-Base是一種先進的主動壓電地面減振平臺，用于超精密儀器和機械設備。

它適用于比典型的商業掃描電子顯微鏡（SEM）更大或更重的儀器，而且設備有高度限制。

TOOL-Base不局限于單一的配置，而是可以被設計成與工具的尺寸、腿的布局和高度要求緊密匹配。此外，它的容量可以與有效載荷的質量相匹配。

<strong>地面式主動減振平臺</strong>TOOL-base(圖1)

TOOL-Base優勢

硬安裝技術 - TOOL-Base是帶有內部氣動振動控制系統的理想工具，提供一個穩定和堅硬的平臺，以支持振動敏感的工具。

主動慣性振動消除 - TOOL-Base采用高靈敏度，低頻慣性速度傳感器，以實現高水平的振動衰減，即使在安靜的地面上。

采用壓電技術的串行設計 - 串行設計和**的高功率壓電技術使得0。6Hz開始的有源帶寬很寬，并且在2Hz開始的主動減振90%達到**的慣性主動減振效果。

配置靈活性 - TOOL-Base的配置可以調整，以適應刀具的底座和高度要求。

<strong>地面式主動減振平臺</strong>TOOL-base(圖2)

地面式主動減振平臺 應用照片

<strong>地面式主動減振平臺</strong>TOOL-base(圖3)

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